永久磁石(マグネット)加工、磁気回路設計・製作なら東和製作所へ(東京)-真空装置/製膜装置向けマグネットの事例
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真空装置・製膜装置向けの提案事例のご紹介

半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ、太陽電池等のエレクトロニクス製品や光学部品や、装飾品等など、薄膜の製膜に用いられるスパッタなど、真空中でのプラズマの制御に磁場が持ちられます。

磁場の強度、発生位置、磁場方向、磁場勾配など様々なパラメータを管理し所望の効果を得るために、永久磁石が用いられます。
これらの特性を引き出すため、当社の解析、設計、製造、測定がお役に立ちます。

 

ご提案内容

 

既存イオン源製品の性能改善

お客様からのご要望
真空用装置に用いる、イオン源の既存品の性能改善を行いたい。
東和製作所からのご提案
目標とする磁気仕様が明確ではないため、まずは磁気特性の検査を実施しました。
検査結果より、強力な磁界を発生できるように製品設計を見直すため、お客様装置内に納まる範囲で最大の磁界を発生させるよう効率の良い磁気回路を解析を含めご提案させていただき、製作をさせていただきました。強力な磁場を発生させる磁気回路の組立は、多くのノウハウを必要とします。このため設計段階で製造を見越すことにより、特性を最大限引き出すことができます。
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マグネトロンスパッタ用磁気回路の短納期製作

お客様からのご要望
開発スケジュールの都合上、できる限り短納期で製作してほしい。
東和製作所からのご提案
マグネトロンスパッタ装置の立ち上げを検討しているお客様が、マグネットの納期が1つのボトルネックとなり、開発スケジュールの工面に苦労をしておられました。
できうる限りの短納期での対応を求められおり、特性確認から見積、製作、納品までお客様のご満足のいくスケジュールにてご提案させていただきました。
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カソードマグネットの修理

お客様からのご要望
マグネトロンスパッタ用のマグネットの修理をできないか?
東和製作所からのご提案
マグネトロンスパッタ用のカソードマグネットをご使用のお客様で不運な事故によりマグネットを破損してしまいました。 マグネットは非常に高価であると共に、製作に長い納期を必要とします。
非常にお困りのお客様に、破損した部分のみの交換とを実施することをご案内いたしました。
通常着磁されているマグネットの集合体である、磁気回路部品は1部マグネットを交換することはできませんが、状況によっては修復可能な場合もありこのケースは、あきらめていたものが実現できたケースでした。
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