真空装置用マグネット

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マグネトロンスパッタ装置のカソード用マグネットの製作

お客様からの要求

要求する形状と磁気分布を満たすカソード用マグネットを設計、製作してほしい。

東和製作所の対応

既存の装置の修理・改造、ターゲット材の材質変更などお客様要求は1点1様。カソード用マグネットの製作実績が多くあるため、要求の磁場を発生させるために、どの磁石の材質を、どのように配列すればよいかのノウハウがあり、必要な数量を最適な納期で対応してきた。
φ3インチ、φ4インチ、φ8インチ、φ16インチ、2インチ×7インチ、5インチ×10インチ、5インチ×20インチ、5インチ×27インチ、360mm×100mm、890mm×80mm、1100mm×120mm
他にも多数あり

電子ビーム偏向用磁石(磁気回路)の製作

お客様からの要求

蒸着装置の試料からの反射ビームがカバーにダメージを与えているので、偏向用磁石を追加し、反射ビームをカバーに当たらないようにしたい。るつぼが近くにあるため、温度が250℃近くあり、設置できるスペースは高さが5mmしかない。
このような条件でるつぼの上面の30mmGAPの中心に、16mTの磁場を発生させたい。

東和製作所の対応

磁石を設置できるスペースが限られており、おおよその磁石の形状が決まってくる。その形状を250℃まで熱をかけたときにどのぐらい減磁するか、16mT以上を維持できるかが重要となる。設計は出来るだけるつぼから磁石を離し、磁石の掛かる温度を低減し、シミュレーションにより、温度環境での磁気特性を計算し、使用環境でも耐えうる構造を設計した。
お客様の実装の評価の結果、設計通り、反射ビームを変更することができた。