真空装置用マグネット
マグネトロンスパッタ装置のカソード用マグネットの製作
お客様からの要求 要求する形状と磁気分布を満たすカソード用マグネットを設計、製作してほしい。 東和製作所の対応 既存の装置の修理・改造、ターゲット材の材質変更などお客様要求は1点1様。カソード用マグネットの製作実績が多く … Read more
電子ビーム偏向用磁石(磁気回路)の製作
お客様からの要求 蒸着装置の試料からの反射ビームがカバーにダメージを与えているので、偏向用磁石を追加し、反射ビームをカバーに当たらないようにしたい。るつぼが近くにあるため、温度が250℃近くあり、設置できるスペースは高さ … Read more