メタルマスク固定用磁石(磁気回路)の製作
お客様からの要求 基板を均一に固定するために磁石を使用したいのだが、真空雰囲気で200℃の環境で使用できる磁気回路を設計してほしい 東和製作所の対応 磁石は熱減磁する特性があるため、200℃の環境で基盤を均一な吸着力を維持するために、磁石の材質の選定と磁気回路の設計が重要になる。 また、真空雰囲気ではアウトガスの発生に注意する必要があり、接着剤の選定も重要になる。 そのため、磁場解析から最適な材質の選定を行い、要求の仕様を満たす磁気回路の設計を行った。 実装評価から出る課題を数週間で解消し、再度の試作評価と