メタルマスク固定用磁石(磁気回路)の製作

お客様からの要求 基板を均一に固定するために磁石を使用したいのだが、真空雰囲気で200℃の環境で使用できる磁気回路を設計してほしい 東和製作所の対応 磁石は熱減磁する特性があるため、200℃の環境で基盤を均一な吸着力を維持するために、磁石の材質の選定と磁気回路の設計が重要になる。 また、真空雰囲気ではアウトガスの発生に注意する必要があり、接着剤の選定も重要になる。 そのため、磁場解析から最適な材質の選定を行い、要求の仕様を満たす磁気回路の設計を行った。 実装評価から出る課題を数週間で解消し、再度の試作評価と

駆動装置用磁石(磁気回路)の改良

お客様からの要求 製造装置の駆動部を改良し、推進力を向上したいが、希土類焼結磁石ではコストと納期が合わない。 東和製作所の対応 既存のマグネット材質でスパイラル状の着磁をしていたが、減磁しやすく推力も低下してしまう。希土類焼結磁石をスキュー形状に加工し、組立を検討したが、コストと納期が合わない。 当社が70年間構築してきたネットワークを使い、希土類のボンド磁石を開発している企業と協力し、安定的に供給可能な材料の調達ルートを新規開拓した。 また、着磁コイルもメーカーと当社で共同開発を行い、スパイラル状に着磁す

リニア駆動装置の開発

お客様からの要求 リニア駆動装置の磁石部に傾斜をつけて、コイルとのGAPを可変させることにより、推力に強弱をつける機構を半年で開発したい。 東和製作所の対応 GAPを可変することにより磁場強度がどのように変わるかを検討するため、当時はコンピュータシミュレーションで解ききれない領域のため何回も試作評価をする必要があった。このため、安定した材料特性と、測定精度及び非常に短期間で実現するものつくり力が総合的に求められた。 当社が70年間構築してきたネットワークと磁石の加工設備を駆使し、スピーディな検証を実現でき、

磁気回路の磁場強度向上の開発

お客様からの要求 磁気回路の磁場強度を外形寸法を変更しないで向上させたい。 東和製作所の対応 お客様仕様を満足する磁気回路を製作するために、設計については磁石メーカーの信越化学工業に技術協力をお願いした。信越化学工業は実験的な磁気回路構造の検討を行い、計算上要求を満たす設計案ができた。 しかし、信越化学工業では組み立てが困難だったため、当社で安定的に生産可能な組立方式を考案し試作から繰返し生産までの対応を実現した。

Go to Top