マグネトロンスパッタ装置のカソード用マグネットの製作

お客様からの要求 要求する形状と磁気分布を満たすカソード用マグネットを設計、製作してほしい。 東和製作所の対応 既存の装置の修理・改造、ターゲット材の材質変更などお客様要求は1点1様。カソード用マグネットの製作実績が多くあるため、要求の磁場を発生させるために、どの磁石の材質を、どのように配列すればよいかのノウハウがあり、必要な数量を最適な納期で対応してきた。 φ3インチ、φ4インチ、φ8インチ、φ16インチ、2インチ×7インチ、5インチ×10インチ、5インチ×20インチ、5インチ×27インチ、360mm×1

電子ビーム偏向用磁石(磁気回路)の製作

お客様からの要求 蒸着装置の試料からの反射ビームがカバーにダメージを与えているので、偏向用磁石を追加し、反射ビームをカバーに当たらないようにしたい。るつぼが近くにあるため、温度が250℃近くあり、設置できるスペースは高さが5mmしかない。 このような条件でるつぼの上面の30mmGAPの中心に、16mTの磁場を発生させたい。 東和製作所の対応 磁石を設置できるスペースが限られており、おおよその磁石の形状が決まってくる。その形状を250℃まで熱をかけたときにどのぐらい減磁するか、16mT以上を維持できるかが重要

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