マグネトロンスパッタ装置のカソード用マグネットの製作
お客様からの要求 要求する形状と磁気分布を満たすカソード用マグネットを設計、製作してほしい。 東和製作所の対応 既存の装置の修理・改造、ターゲット材の材質変更などお客様要求は1点1様。カソード用マグネットの製作実績が多くあるため、要求の磁場を発生させるために、どの磁石の材質を、どのように配列すればよいかのノウハウがあり、必要な数量を最適な納期で対応してきた。 φ3インチ、φ4インチ、φ8インチ、φ16インチ、2インチ×7インチ、5インチ×10インチ、5インチ×20インチ、5インチ×27インチ、360mm×1