お客様からの要求
蒸着装置の試料からの反射ビームがカバーにダメージを与えているので、偏向用磁石を追加し、反射ビームをカバーに当たらないようにしたい。るつぼが近くにあるため、温度が250℃近くあり、設置できるスペースは高さが5mmしかない。
このような条件でるつぼの上面の30mmGAPの中心に、16mTの磁場を発生させたい。
東和製作所の対応
磁石を設置できるスペースが限られており、おおよその磁石の形状が決まってくる。その形状を250℃まで熱をかけたときにどのぐらい減磁するか、16mT以上を維持できるかが重要となる。設計は出来るだけるつぼから磁石を離し、磁石の掛かる温度を低減し、シミュレーションにより、温度環境での磁気特性を計算し、使用環境でも耐えうる構造を設計した。
お客様の実装の評価の結果、設計通り、反射ビームを変更することができた。