製品事例
研究開発向けの事例
磁場配向用磁気回路(垂直方向磁場)の製作
お客様からの要求 試料を配向させるため、試料に対し垂直に印加できる磁気回路がほしい。また、磁場も可変させたい。 東和製作所の対応 磁場を可変させる機構は、使用上の安全面、取り扱いやすさを考慮した設計が必要のため、想定のス … Read more
設計・開発向けの事例
メタルマスク固定用磁石(磁気回路)の製作
お客様からの要求 基板を均一に固定するために磁石を使用したいのだが、真空雰囲気で200℃の環境で使用できる磁気回路を設計してほしい 東和製作所の対応 磁石は熱減磁する特性があるため、200℃の環境で基盤を均一な吸着力を維 … Read more
駆動装置用磁石(磁気回路)の改良
お客様からの要求 製造装置の駆動部を改良し、推進力を向上したいが、希土類焼結磁石ではコストと納期が合わない。 東和製作所の対応 既存のマグネット材質でスパイラル状の着磁をしていたが、減磁しやすく推力も低下してしまう。希土 … Read more
リニア駆動装置の開発
お客様からの要求 リニア駆動装置の磁石部に傾斜をつけて、コイルとのGAPを可変させることにより、推力に強弱をつける機構を半年で開発したい。 東和製作所の対応 GAPを可変することにより磁場強度がどのように変わるかを検討す … Read more
量産向けの事例
着磁した磁石の組み立て
お客様からの要求 ダイレクトドライブモーターの組み立てで、無着磁の磁石をローターに組み立てしたあとで着磁した場合、着磁コイルの性能上、部分的に完全に着磁できず、磁気特性のバラツキが生じていた。試作評価の段階は着磁した磁石 … Read more
真空装置向けの事例
マグネトロンスパッタ装置のカソード用マグネットの製作
お客様からの要求 要求する形状と磁気分布を満たすカソード用マグネットを設計、製作してほしい。 東和製作所の対応 既存の装置の修理・改造、ターゲット材の材質変更などお客様要求は1点1様。カソード用マグネットの製作実績が多く … Read more
電子ビーム偏向用磁石(磁気回路)の製作
お客様からの要求 蒸着装置の試料からの反射ビームがカバーにダメージを与えているので、偏向用磁石を追加し、反射ビームをカバーに当たらないようにしたい。るつぼが近くにあるため、温度が250℃近くあり、設置できるスペースは高さ … Read more
その他の事例
マグネットバルブの共同開発
お客様からの要求 永久磁石を用いたバルブのアイデアがあるので相談したい。 東和製作所の対応 イマテック株式会社より、バルブのアイデアの実現性について相談したいとの連絡を受けた。すぐにご来社されアイデアについてのディスカッ … Read more